坎南和理查兹等学者考察了“capital”一词在英语中的早期使用历史，他们发现在英语中具有经济意涵的“capital（或者是capitall）”一词最早出现在那些教授英国商人怎样用高级方法进行记账的书籍中。他们都举了一个名叫杰姆斯·皮尔（James Peele）的会计的例子。其中，坎南发现，1569年这名会计在教授一门名为“意大利商人记账的艺术”（the art of Italian merchants accounts）课程时，使用了“capitall”，并将“capitall”与表示资金等含义的“stocke”连用。显然，这里的“capitall”有经济意涵。而理查兹则发现1569年杰姆斯·皮尔（James Peele）在一篇名为《通往完美之路》（The Pathe waye to perfectnes）的会计论文著作中使用了“capitall”一词。其中，“capitall”与“stocke”、“money”、“debts”等连用，显然也在经济意义上被使用。
大约从17世纪开始，表示经济意涵的“capital”一词开始在英语世界被广泛使用。1611年，英国人兰德尔·科特格雷夫（Randle Cotgrave）在其编纂的《法英词典》中，就收录“capital”一词，并把它的意思界定为“wealth，worth; a stocke，a mans principall，or chiefe，substance”。法语中“capital”一词的使用和德语中“Kapital”一词的使用与英语中“capital”一词的历史和逻辑非常相似。约从17世纪开始，表示经济意涵的“capital/Kapital”开始在法语和德语中流行开来。
在英语中，“capitalist”的出现时间比“capital”要晚，但比“capitalism”要早。根据《牛津英语词典》对“capitalist”一词的解释：1792年，英国农业经济学家亚瑟·杨格（Arthur Young）在其创办的期刊《法国旅游》（Travels in France）中使用这个词，“解决这两个弊端的唯一措施是禁止低于支付责任的土地所有权划分；或者，干脆取消土地税。这些措施的一个总的弊端是导致那些有钱人（moneyed men）或资本家（capitalists）逃税。只有消费税才能影响他们。”在这里，“capitalist”的含义比较表面，被当作有钱人的同义词。而1823年，英国湖畔诗人塞缪尔·科勒律治在其谈话性著作《茶话》（Table-Talk）中讨论济贫法的颁布缘由时，也使用了这个词，“济贫法(Poor-laws)是一个全面商业和制造业系统的不可避免的补充。……将伊丽莎白女王的法案说成为这个国家创造了济贫法无疑是大谬不然。贫困费（the poor-rates）乃是由资本家们（capitalists）由于雇佣劳工而支付的体恤费，或者说是代表他们所支付的。它就是劳动价格，而不是其他什么东西。”从文中可以看出，这里面的“capitalist”的含义已经不仅仅指有钱人，而是开始与劳动力（labor）、需求（demand）等联系在一起。
雷蒙·威廉斯在其《关键词：文化与社会词汇》中除了引述《牛津英语词典》中的上述两个例子去说明“capitalist”的含义变化之外，还引用了英国社会主义作家托马斯·霍奇金（Thomas Hodgkin）在《劳方对资方主张之辩驳》（Labour Defended against the Claims of Capital）中对“capitalist”一词的使用，“在生产食物和制造服装、生产工具和使用工具的人们之间，横亘着资本家（capitalist），他既不生产也不使用它们，还将自己视为两者的生产者。”托马斯·霍奇金将“capitalist”描述为既不制造也不使用工具、却将这些生产挪为己用的人。这里面对“capitalist”的界定与后来马克思著作中的相关描述和批评已经比较接近了。
一般认为，在英语中最早使用“capitalism”一词的文献是维多利亚女王时代的长篇小说家威廉·萨克雷于1854年出版的著作《新来者：一个最值得尊敬的家庭的传记》。该书在描述一个名叫德·蒙孔图尔（de Moncontour）的王子在巴黎的经历时，使用了“The sense of capitalism”这一用法，翻译成中文即“资本主义的意识”。这里的“capitalism”与“sense”联系在一起，表示一种“capitalism”的情感、感觉或者意识。
法语里面最早使用“capitalisme”一词的例子可追溯到路易·勃朗等无政府主义者的著作。1848年，路易·勃朗在其《劳动组织》（Organisation de travail）一书中写道：“我们可以审视一下作为巴师夏先生所有推论基础的诡辩是由何构成的，这种诡辩就在于无休止地混淆了资本（capital）的和我以后将之称为资本主义（capitalisme）的用法。也就是说，资本被一些事物的占据也就意味着对其他东西的排除。正是这样，事物使用的结果是它的独占而非它的本质。”在路易·勃朗这里，“资本主义”是对“资本”的一种超越状态，表示一种资本对事物进行排他性占有的特征。
在德语中，根据《历史的基本概念：德国政治—社会语言辞典》的考证，1815年在德国南部出现“Capitalistische Produktion”（资本主义生产）概念，与现代的“资本主义”概念有相似之处，表示一种制造剩余价值和储备物的生产活动，但使用较少。该词典认为“Kapitalismus”（资本主义）概念可能是从当时的法国引入的，并且从18世纪中期开始“Kapitalistischer Betrieb”（资本主义生产）和“Kapitalistische Hilfsmittel”（资本主义生产方式）两个概念在德国自由主义人士中已经被广为使用。1869年，当时著名的经济学家洛贝尔图斯-亚格措夫（Rodbertus-Jagetzow）在其著作《解释和纠正目前涉及土地所有权的信贷》（Zur Erklärung und Abhülfe der heutigen Credit noth des Grundbesitzes）中，开始独立使用“Kapitalismus”这一概念。
从19世纪后半叶开始，“capitalism/capitalisme/Kapitalismus”（资本主义）一词开始渐渐流行开来。1870年，即马克思发表《资本论》第一卷三年后，德国学者阿尔伯特·谢夫莱（Albert Schffle）就在其著作《资本主义与社会主义》（Kapitalismus und Socialismus）的标题中出现了“Kapitalismus”（资本主义）这一词，并且在著作中反复使用这一概念。1894年，英国学者J.霍布森出版了著作《现代资本主义的演化：机器生产研究》。在这本书中，霍布森不仅使用了“capitalism”这一概念，还界定了这一概念的基本要素；1902年，桑巴特出版了著作《现代资本主义》（Der moderne Kapitalismus）……这样，最早从19世纪70年代开始，最晚甚至到19世纪末20世纪初，“capitalism/capitalisme/Kapitalismus”（资本主义）一词开始广为流行开来。如今，基本上所有重要的词典、社会科学工具书都收录了“capitalism/capitalisme/Kapitalismus”的词条，并对之进行了或严格、或宽泛、或具体、或抽象的定义，“capitalism/capitalisme/Kapitalismus”（资本主义）已经成为人们平时生活中最为常用的基本概念之一。
在“资本主义”概念的现代使用中，作为生产方式的“资本主义”是诸多义项中最重要的意涵。近乎所有的辞典在界定“资本主义”一词的意涵时都从生产方式入手来说明这一概念。例如，由英国学者汤姆·博托莫尔编著的《马克思主义思想辞典》（A Dictionary of Marxist Thought），就是从“生产方式”这一角度首先阐述“资本主义”一词。书中写道：“资本主义（capitalism）一词是指一种生产方式；在这种生产方式中，以其各种形态出现的资本是主要的生产资料。”同样，由国内学者赵德水编著的《马克思主义知识辞典》也突出了“作为生产方式的‘资本主义’”这一条线索，指出“资本主义生产方式在封建社会内部因小生产的分化而自发地产生。资本主义产生和发展的两个前提条件是：（1）出现大批获得人身自由但失去生产资料的劳动者，他们只能依靠出卖自己的劳动力为生；（2）大量的货币财富集中在少数人手中，从而使他们具备购买生产资料和劳动力，剥削雇佣劳动的能力。”